مراجعة حساسات رنان الكوارتز ذات السماكة-القص لدرجة الحرارة والضغط

الخلاصة - يراجع هذا العمل استخدام رنانات وضع قص السماكة لاستشعار درجة الحرارة وقياس الضغط.تشمل مزايا هذه المستشعرات التنسيق الرقمي بطبيعته ، والدقة العالية ، والدقة العالية ، والاستقرار على المدى الطويل.يراجع هذا العمل المبادئ الفيزيائية التي ينطوي عليها تشغيل الأجهزة إلى جانب نتائج أداء المستشعر المقتبسة.
كانت أولى أجهزة استشعار درجة الحرارة المتاحة تجارياً عبارة عن وحدات قائمة بذاتها.تطور استخدامها ونجاحها التجاري عبر مراحل مختلفة اعتمادًا جزئيًا على الإلكترونيات الإضافية المتوفرة في ذلك الوقت.
هناك عدد من تطبيقات استشعار درجة الحرارة ملحقة بأجهزة استشعار مرنان قص السماكة الأخرى.هناك فئتان رئيسيتان هما مرنان منفصل لتعويض درجة الحرارة والتشغيل ثنائي الوضع لمرنان القص ذو السماكة الواحدة.تنقسم عملية الوضع المزدوج إلى استخدام وضعين من مجموعات وضع قص السماكة المختلفة أو وضعين من نفس عائلة وضع قص السماكة.
تستخدم مجموعة متنوعة من مستشعرات الضغط حقيقة أن تواتر مرنان قص السماكة يتغير مع انحياز الإجهاد.تنقسم هذه التطبيقات بسهولة إلى فئات تعتمد على نمط تحيز الإجهاد المستخدم.
شروط الفهرس - الرنانات الكهرضغطية ، قياس الضغط ، الكوارتز ، محولات مرنان الكوارتز ، الرنانات ، قياس درجة الحرارة ، محولات الطاقة.